摘要本文重(zhong)點對半(ban)導體(ti)(ti)硅(gui)材(cai)(cai)料(liao)(liao)，GaAs和InP單晶(jing)材(cai)(cai)料(liao)(liao)，半(ban)導體(ti)(ti)超晶(jing)格、量(liang)子阱材(cai)(cai)料(liao)(liao)，一維(wei)量(liang)子線、零維(wei)量(liang)子點半(ban)導體(ti)(ti)微(wei)結構(gou)材(cai)(cai)料(liao)(liao)，寬帶隙半(ban)導體(ti)(ti)材(cai)(cai)料(liao)(liao)，光子晶(jing)體(ti)(ti)材(cai)(cai)料(liao)(liao)，量(liang)子比特構(gou)建與材(cai)(cai)料(liao)(liao)等目(mu)前(qian)達(da)到的水(shui)平和器件應用(yong)概(gai)況及其(qi)發(fa)展(zhan)(zhan)趨(qu)勢(shi)作(zuo)了概(gai)述(shu)。最后，提出了發(fa)展(zhan)(zhan)我國半(ban)導體(ti)(ti)材(cai)(cai)料(liao)(liao)的建議。

關(guan)鍵詞半導體材(cai)料量子(zi)線量子(zi)點材(cai)料光(guang)子(zi)晶體

1半導體材料(liao)的戰略(lve)地位

上世(shi)紀中葉，單晶(jing)硅和(he)(he)半(ban)導(dao)體(ti)晶(jing)體(ti)管的(de)發明及其(qi)硅集成電(dian)(dian)路(lu)(lu)的(de)研制(zhi)成功，導(dao)致了(le)電(dian)(dian)子(zi)工(gong)業革(ge)命；上世(shi)紀70年代(dai)初石英光導(dao)纖(xian)維材料和(he)(he)GaAs激光器(qi)的(de)發明，促進了(le)光纖(xian)通信技術(shu)迅(xun)速發展(zhan)并逐步形(xing)成了(le)高新技術(shu)產業，使(shi)人(ren)類進入了(le)信息時代(dai)。超晶(jing)格(ge)概念(nian)的(de)提出(chu)及其(qi)半(ban)導(dao)體(ti)超晶(jing)格(ge)、量子(zi)阱材料的(de)研制(zhi)成功，徹底改(gai)(gai)變了(le)光電(dian)(dian)器(qi)件(jian)的(de)設計思(si)想，使(shi)半(ban)導(dao)體(ti)器(qi)件(jian)的(de)設計與(yu)制(zhi)造(zao)從(cong)(cong)“雜質(zhi)工(gong)程”發展(zhan)到“能帶工(gong)程”。納米科學(xue)技術(shu)的(de)發展(zhan)和(he)(he)應用，將(jiang)(jiang)使(shi)人(ren)類能從(cong)(cong)原子(zi)、分子(zi)或(huo)納米尺度水平(ping)上控(kong)制(zhi)、操縱(zong)和(he)(he)制(zhi)造(zao)功能強大(da)的(de)新型(xing)器(qi)件(jian)與(yu)電(dian)(dian)路(lu)(lu)，必將(jiang)(jiang)深刻(ke)地影響著世(shi)界的(de)政(zheng)治、經濟格(ge)局(ju)和(he)(he)軍事對抗的(de)形(xing)式(shi)，徹底改(gai)(gai)變人(ren)們的(de)生活方式(shi)。

2幾種主要半導體材料(liao)的發展現狀(zhuang)與(yu)趨勢

2.1硅材料

1半導體材(cai)料的戰略地位

上世(shi)紀中(zhong)葉，單晶(jing)硅和(he)半(ban)導體(ti)晶(jing)體(ti)管的發(fa)(fa)明及其(qi)硅集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路(lu)的研(yan)制(zhi)成(cheng)(cheng)功(gong)，導致了電(dian)(dian)子工業革命；上世(shi)紀70年代(dai)初(chu)石英光導纖維(wei)材料(liao)(liao)和(he)GaAs激光器(qi)(qi)的發(fa)(fa)明，促進了光纖通信技術(shu)(shu)迅速發(fa)(fa)展并(bing)逐(zhu)步(bu)形(xing)成(cheng)(cheng)了高新技術(shu)(shu)產業，使(shi)人類進入了信息時代(dai)。超(chao)晶(jing)格概念的提(ti)出及其(qi)半(ban)導體(ti)超(chao)晶(jing)格、量(liang)子阱(jing)材料(liao)(liao)的研(yan)制(zhi)成(cheng)(cheng)功(gong)，徹底(di)改變(bian)了光電(dian)(dian)器(qi)(qi)件(jian)的設計思想，使(shi)半(ban)導體(ti)器(qi)(qi)件(jian)的設計與制(zhi)造從(cong)“雜質工程”發(fa)(fa)展到“能帶工程”。納(na)米科學技術(shu)(shu)的發(fa)(fa)展和(he)應用，將使(shi)人類能從(cong)原子、分子或(huo)納(na)米尺度水平上控(kong)制(zhi)、操縱(zong)和(he)制(zhi)造功(gong)能強大的新型器(qi)(qi)件(jian)與電(dian)(dian)路(lu)，必(bi)將深刻地影響著世(shi)界(jie)的政治、經濟格局和(he)軍事(shi)對抗的形(xing)式，徹底(di)改變(bian)人們的生活方式。

2幾種(zhong)主(zhu)要半導體材料的(de)發(fa)展現(xian)狀與趨勢

2.1硅材料

從(cong)提高硅(gui)(gui)集成(cheng)(cheng)電路成(cheng)(cheng)品率(lv)，降低成(cheng)(cheng)本看(kan)，增大直(zhi)拉硅(gui)(gui)（CZ－Si）單(dan)晶的(de)(de)直(zhi)徑(jing)和減小微缺陷的(de)(de)密度仍是今后CZ－Si發展(zhan)的(de)(de)總趨勢。目(mu)前直(zhi)徑(jing)為(wei)8英(ying)(ying)寸(cun)（200mm）的(de)(de)Si單(dan)晶已實現大規模工業(ye)生產(chan)，基于(yu)直(zhi)徑(jing)為(wei)12英(ying)(ying)寸(cun)（300mm）硅(gui)(gui)片的(de)(de)集成(cheng)(cheng)電路（IC‘s）技術正處在(zai)由實驗室向工業(ye)生產(chan)轉變中。目(mu)前300mm，0.18μm工藝(yi)的(de)(de)硅(gui)(gui)ULSI生產(chan)線已經投入生產(chan)，300mm，0.13μm工藝(yi)生產(chan)線也將在(zai)2003年完成(cheng)(cheng)評估。18英(ying)(ying)寸(cun)重(zhong)達414公斤的(de)(de)硅(gui)(gui)單(dan)晶和18英(ying)(ying)寸(cun)的(de)(de)硅(gui)(gui)園片已在(zai)實驗室研(yan)制(zhi)成(cheng)(cheng)功，直(zhi)徑(jing)27英(ying)(ying)寸(cun)硅(gui)(gui)單(dan)晶研(yan)制(zhi)也正在(zai)積極籌(chou)劃中。

從(cong)進一(yi)步提高硅(gui)(gui)IC‘S的(de)(de)速度和(he)(he)集成(cheng)度看，研(yan)制適合(he)于硅(gui)(gui)深亞微米(mi)乃至(zhi)納米(mi)工藝(yi)所需的(de)(de)大(da)(da)直(zhi)徑硅(gui)(gui)外(wai)延(yan)片會(hui)成(cheng)為硅(gui)(gui)材(cai)料發(fa)展(zhan)的(de)(de)主(zhu)流。另(ling)外(wai)，SOI材(cai)料，包(bao)括智能(neng)剝離（Smartcut）和(he)(he)SIMOX材(cai)料等也發(fa)展(zhan)很快。目前(qian)，直(zhi)徑8英(ying)寸(cun)(cun)的(de)(de)硅(gui)(gui)外(wai)延(yan)片和(he)(he)SOI材(cai)料已研(yan)制成(cheng)功，更(geng)大(da)(da)尺寸(cun)(cun)的(de)(de)片材(cai)也在開發(fa)中。

摘要本文重點對半導(dao)體(ti)硅材(cai)料(liao)(liao)(liao)(liao)，GaAs和InP單晶(jing)材(cai)料(liao)(liao)(liao)(liao)，半導(dao)體(ti)超晶(jing)格、量(liang)子(zi)(zi)(zi)阱材(cai)料(liao)(liao)(liao)(liao)，一(yi)維量(liang)子(zi)(zi)(zi)線、零(ling)維量(liang)子(zi)(zi)(zi)點半導(dao)體(ti)微(wei)結構材(cai)料(liao)(liao)(liao)(liao)，寬帶(dai)隙(xi)半導(dao)體(ti)材(cai)料(liao)(liao)(liao)(liao)，光子(zi)(zi)(zi)晶(jing)體(ti)材(cai)料(liao)(liao)(liao)(liao)，量(liang)子(zi)(zi)(zi)比特構建與材(cai)料(liao)(liao)(liao)(liao)等(deng)目(mu)前達到(dao)的水平和器件應(ying)用概(gai)況及其發展(zhan)趨勢作了概(gai)述。最后，提出了發展(zhan)我國半導(dao)體(ti)材(cai)料(liao)(liao)(liao)(liao)的建議。

關鍵詞(ci)半導體材料量(liang)子線量(liang)子點材料光(guang)子晶(jing)體

1半導體材料的戰略地位

上世(shi)紀(ji)中(zhong)葉，單晶硅(gui)和半(ban)導(dao)體(ti)晶體(ti)管(guan)的(de)(de)(de)(de)發明及其(qi)硅(gui)集成電路(lu)的(de)(de)(de)(de)研制(zhi)成功，導(dao)致了電子(zi)工(gong)業革命(ming)；上世(shi)紀(ji)70年代初石英光導(dao)纖(xian)維材料和GaAs激光器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)發明，促(cu)進了光纖(xian)通信技(ji)術迅(xun)速發展并逐步形成了高新(xin)技(ji)術產業，使人(ren)(ren)類(lei)進入了信息時代。超晶格(ge)概念的(de)(de)(de)(de)提出(chu)及其(qi)半(ban)導(dao)體(ti)超晶格(ge)、量子(zi)阱材料的(de)(de)(de)(de)研制(zhi)成功，徹底(di)改變了光電器(qi)(qi)件的(de)(de)(de)(de)設(she)(she)計(ji)思想，使半(ban)導(dao)體(ti)器(qi)(qi)件的(de)(de)(de)(de)設(she)(she)計(ji)與制(zhi)造從“雜質(zhi)工(gong)程(cheng)(cheng)”發展到(dao)“能(neng)(neng)帶(dai)工(gong)程(cheng)(cheng)”。納(na)米(mi)科學技(ji)術的(de)(de)(de)(de)發展和應用(yong)，將使人(ren)(ren)類(lei)能(neng)(neng)從原子(zi)、分子(zi)或納(na)米(mi)尺度水平上控制(zhi)、操縱和制(zhi)造功能(neng)(neng)強大的(de)(de)(de)(de)新(xin)型(xing)器(qi)(qi)件與電路(lu)，必將深刻地影響(xiang)著世(shi)界的(de)(de)(de)(de)政治、經濟(ji)格(ge)局和軍事對抗的(de)(de)(de)(de)形式，徹底(di)改變人(ren)(ren)們(men)的(de)(de)(de)(de)生活方式。

2幾種主要半導(dao)體材料的發(fa)展現(xian)狀與趨勢

2.1硅材料

摘要本文重點(dian)(dian)對半導體(ti)(ti)硅材(cai)(cai)(cai)料(liao)，GaAs和InP單晶材(cai)(cai)(cai)料(liao)，半導體(ti)(ti)超晶格、量子(zi)阱材(cai)(cai)(cai)料(liao)，一維量子(zi)線、零維量子(zi)點(dian)(dian)半導體(ti)(ti)微結(jie)構(gou)材(cai)(cai)(cai)料(liao)，寬帶(dai)隙半導體(ti)(ti)材(cai)(cai)(cai)料(liao)，光(guang)子(zi)晶體(ti)(ti)材(cai)(cai)(cai)料(liao)，量子(zi)比(bi)特構(gou)建(jian)與材(cai)(cai)(cai)料(liao)等(deng)目(mu)前達到的水平(ping)和器件應(ying)用(yong)概況及其發(fa)(fa)展趨(qu)勢作(zuo)了概述。最后(hou)，提出了發(fa)(fa)展我(wo)國半導體(ti)(ti)材(cai)(cai)(cai)料(liao)的建(jian)議。

關(guan)鍵詞半導(dao)體材(cai)料(liao)量子線量子點(dian)材(cai)料(liao)光(guang)子晶體

1半導體材(cai)料的戰略地位

上(shang)世紀中葉，單晶硅和(he)半導(dao)體(ti)(ti)晶體(ti)(ti)管的發明及其(qi)硅集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路的研(yan)制(zhi)(zhi)成(cheng)(cheng)功，導(dao)致了(le)電(dian)(dian)子工(gong)業(ye)革(ge)命(ming)；上(shang)世紀70年代初石英光(guang)(guang)導(dao)纖維材料和(he)GaAs激光(guang)(guang)器的發明，促進了(le)光(guang)(guang)纖通信技(ji)(ji)術迅速(su)發展(zhan)并(bing)逐步形成(cheng)(cheng)了(le)高新技(ji)(ji)術產(chan)業(ye)，使(shi)(shi)人類(lei)進入了(le)信息時代。超晶格(ge)概念的提出及其(qi)半導(dao)體(ti)(ti)超晶格(ge)、量子阱材料的研(yan)制(zhi)(zhi)成(cheng)(cheng)功，徹(che)底(di)改變了(le)光(guang)(guang)電(dian)(dian)器件(jian)的設計思想，使(shi)(shi)半導(dao)體(ti)(ti)器件(jian)的設計與制(zhi)(zhi)造(zao)從(cong)“雜質工(gong)程(cheng)”發展(zhan)到(dao)“能帶工(gong)程(cheng)”。納米(mi)科學技(ji)(ji)術的發展(zhan)和(he)應(ying)用，將使(shi)(shi)人類(lei)能從(cong)原(yuan)子、分子或納米(mi)尺度水平上(shang)控制(zhi)(zhi)、操(cao)縱和(he)制(zhi)(zhi)造(zao)功能強大的新型器件(jian)與電(dian)(dian)路，必將深刻地(di)影響著世界的政治、經濟格(ge)局(ju)和(he)軍事對抗的形式(shi)，徹(che)底(di)改變人們的生活方(fang)式(shi)。

2幾種(zhong)主要半導體(ti)材(cai)料的發展現(xian)狀與趨勢(shi)

2.1硅材料

摘要本(ben)文重點對(dui)半導體(ti)(ti)(ti)(ti)硅材(cai)料(liao)，GaAs和(he)InP單晶材(cai)料(liao)，半導體(ti)(ti)(ti)(ti)超晶格、量(liang)(liang)子(zi)阱材(cai)料(liao)，一維(wei)量(liang)(liang)子(zi)線、零維(wei)量(liang)(liang)子(zi)點半導體(ti)(ti)(ti)(ti)微(wei)結構材(cai)料(liao)，寬(kuan)帶隙半導體(ti)(ti)(ti)(ti)材(cai)料(liao)，光子(zi)晶體(ti)(ti)(ti)(ti)材(cai)料(liao)，量(liang)(liang)子(zi)比(bi)特(te)構建與材(cai)料(liao)等(deng)目前達到的水平和(he)器(qi)件應用(yong)概(gai)(gai)況及其發展趨勢作了(le)概(gai)(gai)述(shu)。最后(hou)，提出了(le)發展我國半導體(ti)(ti)(ti)(ti)材(cai)料(liao)的建議(yi)。

關鍵詞(ci)半(ban)導體材料(liao)量子(zi)線量子(zi)點材料(liao)光子(zi)晶體

1半導(dao)體材料的戰略地位

上(shang)世(shi)紀中葉，單晶(jing)硅(gui)和(he)半導(dao)(dao)體晶(jing)體管的(de)(de)發(fa)明(ming)及(ji)其硅(gui)集成(cheng)(cheng)電(dian)路的(de)(de)研(yan)制(zhi)(zhi)成(cheng)(cheng)功，導(dao)(dao)致了電(dian)子(zi)工業革命(ming)；上(shang)世(shi)紀70年代初(chu)石英光導(dao)(dao)纖維材料(liao)和(he)GaAs激(ji)光器(qi)的(de)(de)發(fa)明(ming)，促進了光纖通信(xin)(xin)技(ji)術(shu)迅速發(fa)展并逐步形成(cheng)(cheng)了高新技(ji)術(shu)產業，使(shi)人類進入了信(xin)(xin)息(xi)時(shi)代。超晶(jing)格概念(nian)的(de)(de)提出及(ji)其半導(dao)(dao)體超晶(jing)格、量子(zi)阱材料(liao)的(de)(de)研(yan)制(zhi)(zhi)成(cheng)(cheng)功，徹底改變(bian)了光電(dian)器(qi)件的(de)(de)設計思想，使(shi)半導(dao)(dao)體器(qi)件的(de)(de)設計與制(zhi)(zhi)造(zao)從“雜質工程”發(fa)展到“能(neng)(neng)帶工程”。納(na)米(mi)科學技(ji)術(shu)的(de)(de)發(fa)展和(he)應(ying)用，將使(shi)人類能(neng)(neng)從原子(zi)、分子(zi)或(huo)納(na)米(mi)尺度水平上(shang)控制(zhi)(zhi)、操縱和(he)制(zhi)(zhi)造(zao)功能(neng)(neng)強(qiang)大(da)的(de)(de)新型(xing)器(qi)件與電(dian)路，必(bi)將深刻地影(ying)響著世(shi)界的(de)(de)政治、經濟格局和(he)軍事(shi)對抗(kang)的(de)(de)形式，徹底改變(bian)人們的(de)(de)生活方式。

2幾種主要半導(dao)體材料的(de)發展現狀與趨(qu)勢

2.1硅材料

摘要(yao)本(ben)文重點(dian)對(dui)半導(dao)體硅材(cai)料，GaAs和InP單(dan)晶材(cai)料，半導(dao)體超晶格(ge)、量子(zi)阱材(cai)料，一維量子(zi)線、零維量子(zi)點(dian)半導(dao)體微結構(gou)材(cai)料，寬帶隙半導(dao)體材(cai)料，光子(zi)晶體材(cai)料，量子(zi)比特構(gou)建(jian)與(yu)材(cai)料等目(mu)前達到的(de)水(shui)平和器件應用概(gai)況(kuang)及其發(fa)展趨勢作了(le)概(gai)述(shu)。最后，提出(chu)了(le)發(fa)展我(wo)國半導(dao)體材(cai)料的(de)建(jian)議(yi)。

關鍵詞(ci)半導體材料量子線量子點材料光子晶(jing)體

1半導體材(cai)料的戰略地位(wei)

上(shang)世(shi)紀(ji)中葉，單晶(jing)硅和(he)(he)半導(dao)體(ti)晶(jing)體(ti)管(guan)的發明(ming)及(ji)其硅集(ji)成電路的研制(zhi)(zhi)成功(gong)(gong)，導(dao)致了(le)電子(zi)工業革(ge)命；上(shang)世(shi)紀(ji)70年代初石英光(guang)導(dao)纖維材料(liao)(liao)和(he)(he)GaAs激光(guang)器(qi)的發明(ming)，促進(jin)了(le)光(guang)纖通(tong)信技術迅速發展并逐步(bu)形成了(le)高新(xin)技術產業，使人(ren)(ren)類進(jin)入了(le)信息(xi)時代。超(chao)晶(jing)格概念的提出及(ji)其半導(dao)體(ti)超(chao)晶(jing)格、量(liang)子(zi)阱材料(liao)(liao)的研制(zhi)(zhi)成功(gong)(gong)，徹(che)底(di)改(gai)變了(le)光(guang)電器(qi)件(jian)的設計思想(xiang)，使半導(dao)體(ti)器(qi)件(jian)的設計與(yu)制(zhi)(zhi)造從“雜(za)質工程(cheng)”發展到“能帶工程(cheng)”。納米(mi)科學技術的發展和(he)(he)應用，將使人(ren)(ren)類能從原子(zi)、分子(zi)或納米(mi)尺度水平(ping)上(shang)控制(zhi)(zhi)、操縱(zong)和(he)(he)制(zhi)(zhi)造功(gong)(gong)能強(qiang)大(da)的新(xin)型器(qi)件(jian)與(yu)電路，必(bi)將深刻(ke)地影響著世(shi)界的政治、經濟格局和(he)(he)軍事對抗的形式，徹(che)底(di)改(gai)變人(ren)(ren)們的生(sheng)活(huo)方(fang)式。

2幾種主要半(ban)導(dao)體材料(liao)的發展(zhan)現狀與趨勢

2.1硅材料

摘要本(ben)文重(zhong)點(dian)對半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)體硅(gui)材料(liao)(liao)(liao)，GaAs和InP單晶材料(liao)(liao)(liao)，半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)體超晶格、量(liang)子(zi)阱材料(liao)(liao)(liao)，一維量(liang)子(zi)線(xian)、零維量(liang)子(zi)點(dian)半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)體微結(jie)構(gou)材料(liao)(liao)(liao)，寬帶(dai)隙半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)體材料(liao)(liao)(liao)，光(guang)子(zi)晶體材料(liao)(liao)(liao)，量(liang)子(zi)比特(te)構(gou)建與(yu)材料(liao)(liao)(liao)等目(mu)前達到的水平和器件應用概況及其發(fa)展趨勢作了概述(shu)。最(zui)后，提(ti)出(chu)了發(fa)展我國半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)體材料(liao)(liao)(liao)的建議。

關鍵詞(ci)半導體材料量子線量子點(dian)材料光子晶體

1半導體材料的(de)戰略地位

上(shang)世紀(ji)中葉(xie)，單晶硅(gui)和半導(dao)體晶體管的(de)(de)(de)發明(ming)及其硅(gui)集成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)的(de)(de)(de)研制(zhi)(zhi)(zhi)成(cheng)(cheng)功，導(dao)致了(le)(le)電(dian)子工業(ye)革命(ming)；上(shang)世紀(ji)70年代初(chu)石(shi)英(ying)光(guang)(guang)導(dao)纖(xian)維(wei)材料和GaAs激光(guang)(guang)器(qi)的(de)(de)(de)發明(ming)，促(cu)進(jin)了(le)(le)光(guang)(guang)纖(xian)通信(xin)技術(shu)迅(xun)速發展(zhan)并(bing)逐步(bu)形成(cheng)(cheng)了(le)(le)高新技術(shu)產業(ye)，使人(ren)類進(jin)入了(le)(le)信(xin)息時代。超晶格(ge)概念的(de)(de)(de)提出(chu)及其半導(dao)體超晶格(ge)、量子阱材料的(de)(de)(de)研制(zhi)(zhi)(zhi)成(cheng)(cheng)功，徹底改(gai)變了(le)(le)光(guang)(guang)電(dian)器(qi)件的(de)(de)(de)設計思想，使半導(dao)體器(qi)件的(de)(de)(de)設計與(yu)制(zhi)(zhi)(zhi)造從“雜質工程(cheng)”發展(zhan)到“能帶(dai)工程(cheng)”。納(na)米科學技術(shu)的(de)(de)(de)發展(zhan)和應用，將使人(ren)類能從原子、分子或納(na)米尺度水(shui)平上(shang)控制(zhi)(zhi)(zhi)、操縱和制(zhi)(zhi)(zhi)造功能強大的(de)(de)(de)新型器(qi)件與(yu)電(dian)路(lu)，必將深刻地影響著世界的(de)(de)(de)政(zheng)治、經濟格(ge)局和軍事(shi)對抗的(de)(de)(de)形式，徹底改(gai)變人(ren)們的(de)(de)(de)生活方式。

2幾種主要半導體材料的發展現狀與趨勢

2.1硅材料

摘(zhai)要(yao)(yao)：隨著科技和(he)經濟(ji)的進步發展(zhan)，半導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)體(ti)器件在我們生活中(zhong)的應用越來越廣泛，而在半導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)體(ti)器件中(zhong)有機(ji)(ji)(ji)半導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)體(ti)應用最為廣泛。本文即將探索和(he)解(jie)說有機(ji)(ji)(ji)半導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)體(ti)器件的電學性(xing)能，揭開其(qi)神秘的面紗。該文主(zhu)要(yao)(yao)從有機(ji)(ji)(ji)半導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)體(ti)同無機(ji)(ji)(ji)半導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)體(ti)的發展(zhan)歷程及其(qi)其(qi)概(gai)念導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)入，其(qi)次在分(fen)析(xi)有機(ji)(ji)(ji)半導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)體(ti)的優(you)劣點，解(jie)說有機(ji)(ji)(ji)半導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)體(ti)的場(chang)效應現象(xiang)，最后(hou)以納米(mi)ZnO線(棒(bang))的試驗解(jie)說其(qi)電學性(xing)質(zhi)

關鍵詞：半(ban)導(dao)體有機(ji)半(ban)導(dao)體電學性(xing)能

一、從有機(ji)半導(dao)體(ti)到無機(ji)半導(dao)體(ti)的探(tan)索(suo)

1.1有機半導體的概(gai)念及其(qi)研究(jiu)歷程

什么叫(jiao)有(you)機半(ban)導(dao)體呢?眾所周知(zhi)，半(ban)導(dao)體材(cai)(cai)(cai)料是導(dao)電(dian)能力介(jie)于導(dao)體和(he)絕緣體之間的(de)一類材(cai)(cai)(cai)料，這(zhe)類材(cai)(cai)(cai)料具有(you)獨特的(de)功能特性(xing)。以硅、鍺、砷化(hua)(hua)嫁、氮化(hua)(hua)嫁等(deng)為代(dai)表的(de)半(ban)導(dao)體材(cai)(cai)(cai)料已經廣泛應用于電(dian)子元件(jian)、高(gao)密度信息(xi)存儲、光電(dian)器件(jian)等(deng)領域。隨著人們對(dui)物(wu)質世(shi)界認識的(de)逐步(bu)深入，一批具有(you)半(ban)導(dao)體特性(xing)的(de)有(you)機功能材(cai)(cai)(cai)料被開發(fa)出(chu)來了，并且(qie)正嘗(chang)試應用于傳統半(ban)導(dao)體材(cai)(cai)(cai)料的(de)領域。

在(zai)(zai)1574年，人們就開始了(le)半導(dao)體(ti)(ti)器件(jian)的研究(jiu)。然(ran)而，一直到1947年朗訊(Lueent)科技公司所屬貝(bei)爾實驗室(shi)的一個研究(jiu)小(xiao)組發(fa)明了(le)雙極晶體(ti)(ti)管后(hou)(hou)，半導(dao)體(ti)(ti)器件(jian)物(wu)理的研究(jiu)才(cai)有了(le)根本性的突破，從此拉開了(le)人類社會步(bu)(bu)入電(dian)子(zi)(zi)時(shi)代的序幕。在(zai)(zai)發(fa)明晶體(ti)(ti)管之(zhi)后(hou)(hou)，隨著硅平面工(gong)藝的進步(bu)(bu)和集成(cheng)電(dian)路的發(fa)明，從小(xiao)規(gui)(gui)模、中規(gui)(gui)模集成(cheng)電(dian)路到大(da)(da)(da)規(gui)(gui)模、超大(da)(da)(da)規(gui)(gui)模集成(cheng)電(dian)路不(bu)斷(duan)發(fa)展(zhan)，出現了(le)今(jin)天這樣的以微電(dian)子(zi)(zi)技術(shu)為基礎的電(dian)子(zi)(zi)信息技術(shu)與(yu)產業(ye)，所以晶體(ti)(ti)管及其(qi)相關(guan)的半導(dao)體(ti)(ti)器件(jian)成(cheng)了(le)當今(jin)全(quan)球市(shi)場(chang)份額最大(da)(da)(da)的電(dian)子(zi)(zi)工(gong)業(ye)基礎。，半導(dao)體(ti)(ti)在(zai)(zai)當今(jin)社會擁著卓越(yue)的地位，而無機半導(dao)體(ti)(ti)又是(shi)是(shi)半導(dao)體(ti)(ti)家族的重中之(zhi)重。

摘(zhai)要:為適應新(xin)時期(qi)人才培養(yang)需要，在我校教(jiao)(jiao)學項(xiang)目的(de)(de)(de)支持下，對大(da)四專(zhuan)業實驗課程半導(dao)體(ti)物(wu)理實驗進行一系列的(de)(de)(de)教(jiao)(jiao)學改(gai)革，旨(zhi)在側重于學生(sheng)的(de)(de)(de)實踐動(dong)手能(neng)力(li)、創新(xin)能(neng)力(li)和(he)綜合素質的(de)(de)(de)培養(yang)和(he)提高(gao)。通過兩年(nian)的(de)(de)(de)實踐，教(jiao)(jiao)師和(he)學生(sheng)普遍感(gan)覺到新(xin)實驗教(jiao)(jiao)學體(ti)系的(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)性、整(zheng)體(ti)性和(he)層次性都得(de)到了極大(da)的(de)(de)(de)提高(gao)，教(jiao)(jiao)學內容和(he)教(jiao)(jiao)學方(fang)式的(de)(de)(de)調整(zheng)，使學生(sheng)理論(lun)聯系實際的(de)(de)(de)能(neng)力(li)得(de)到增強，大(da)大(da)提高(gao)了學生(sheng)的(de)(de)(de)積極性和(he)主動(dong)性。

關(guan)鍵詞:半導體物理實(shi)驗(yan);教(jiao)學改(gai)革;專業實(shi)驗(yan)

實(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)教(jiao)學(xue)(xue)(xue)作(zuo)為(wei)高(gao)(gao)校教(jiao)學(xue)(xue)(xue)環節中的(de)(de)(de)一個(ge)重要組成部分(fen)，不僅因為(wei)其(qi)是(shi)課(ke)堂教(jiao)學(xue)(xue)(xue)的(de)(de)(de)延伸，更由于(yu)通過實(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)教(jiao)學(xue)(xue)(xue)，可以加深學(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)對(dui)理(li)論知識(shi)的(de)(de)(de)理(li)解(jie)，培養學(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)動手能(neng)(neng)(neng)力(li)(li)(li)，拓展學(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)創(chuang)造(zao)思維［1，2］。實(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)教(jiao)學(xue)(xue)(xue)分(fen)為(wei)基(ji)礎(chu)實(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)和(he)專(zhuan)(zhuan)業(ye)實(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)兩部分(fen)［3，4］:基(ji)礎(chu)實(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)面向(xiang)(xiang)全(quan)校學(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)，如大學(xue)(xue)(xue)物理(li)實(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)、普通化學(xue)(xue)(xue)實(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)等，其(qi)主要任務是(shi)鞏(gong)固學(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)對(dui)所學(xue)(xue)(xue)基(ji)礎(chu)知識(shi)和(he)規律的(de)(de)(de)理(li)解(jie)，旨在(zai)提高(gao)(gao)學(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)觀察(cha)、分(fen)析及解(jie)決(jue)問(wen)題的(de)(de)(de)能(neng)(neng)(neng)力(li)(li)(li)，提供知識(shi)儲備［5，6］;與基(ji)礎(chu)實(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)不同(tong)，專(zhuan)(zhuan)業(ye)實(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)僅面向(xiang)(xiang)某一專(zhuan)(zhuan)業(ye)，是(shi)針(zhen)對(dui)專(zhuan)(zhuan)業(ye)理(li)論課(ke)程的(de)(de)(de)具體學(xue)(xue)(xue)習要求設計的(de)(de)(de)實(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)教(jiao)學(xue)(xue)(xue)內容，對(dui)于(yu)學(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)專(zhuan)(zhuan)業(ye)方(fang)向(xiang)(xiang)能(neng)(neng)(neng)力(li)(li)(li)的(de)(de)(de)提高(gao)(gao)具有極強的(de)(de)(de)促進作(zuo)用［7～8］。通過專(zhuan)(zhuan)業(ye)實(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)教(jiao)學(xue)(xue)(xue)使學(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)能(neng)(neng)(neng)夠(gou)更好的(de)(de)(de)理(li)解(jie)、掌握和(he)應用基(ji)礎(chu)知識(shi)和(he)專(zhuan)(zhuan)業(ye)知識(shi)，提高(gao)(gao)分(fen)析問(wen)題的(de)(de)(de)能(neng)(neng)(neng)力(li)(li)(li)并解(jie)決(jue)生(sheng)(sheng)(sheng)活中涉及專(zhuan)(zhuan)業(ye)的(de)(de)(de)實(shi)(shi)(shi)(shi)際(ji)問(wen)題，為(wei)學(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)開展專(zhuan)(zhuan)業(ye)創(chuang)新實(shi)(shi)(shi)(shi)踐活動打下堅(jian)實(shi)(shi)(shi)(shi)的(de)(de)(de)基(ji)礎(chu)［9～11］。

1半導體物理實驗課程存(cun)在的問題(ti)與困難

半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)物(wu)理(li)(li)(li)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)是(shi)物(wu)理(li)(li)(li)學(xue)(xue)(xue)(xue)專(zhuan)業(ye)(ye)(ye)電子材料(liao)(liao)與(yu)器(qi)(qi)(qi)(qi)件(jian)工程方向必修的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)一門專(zhuan)業(ye)(ye)(ye)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)課，旨在(zai)(zai)(zai)培(pei)養(yang)學(xue)(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)對(dui)半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)材料(liao)(liao)和(he)器(qi)(qi)(qi)(qi)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)制備(bei)(bei)(bei)及(ji)(ji)測試(shi)(shi)方法的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)踐操(cao)(cao)作能(neng)(neng)力(li)，其教(jiao)學(xue)(xue)(xue)(xue)效果直接(jie)影響著(zhu)(zhu)后續研究生(sheng)(sheng)(sheng)階段的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)學(xue)(xue)(xue)(xue)習(xi)和(he)畢業(ye)(ye)(ye)工作實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)踐。通過對(dui)前幾年本(ben)專(zhuan)業(ye)(ye)(ye)畢業(ye)(ye)(ye)生(sheng)(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)就業(ye)(ye)(ye)情況分析，發(fa)(fa)現(xian)(xian)該專(zhuan)業(ye)(ye)(ye)畢業(ye)(ye)(ye)生(sheng)(sheng)(sheng)缺(que)乏對(dui)領域(yu)(yu)內(nei)(nei)前沿技(ji)術(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)理(li)(li)(li)解和(he)掌握(wo)。由(you)于(yu)沒有(you)經過相關(guan)知識的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)訓練，不(bu)(bu)(bu)少畢業(ye)(ye)(ye)生(sheng)(sheng)(sheng)就業(ye)(ye)(ye)后再(zai)學(xue)(xue)(xue)(xue)習(xi)過程較長(chang)，融入企事業(ye)(ye)(ye)單位較慢，因此提升空間受(shou)到(dao)限制。1．1教(jiao)學(xue)(xue)(xue)(xue)內(nei)(nei)容(rong)(rong)簡單陳(chen)舊。目前，國內(nei)(nei)高(gao)(gao)校(xiao)在(zai)(zai)(zai)半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)物(wu)理(li)(li)(li)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)課程教(jiao)學(xue)(xue)(xue)(xue)內(nei)(nei)容(rong)(rong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)設(she)(she)置上(shang)大同(tong)小異，基(ji)礎性(xing)(xing)(xing)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)居(ju)多(duo)，對(dui)于(yu)新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)能(neng)(neng)源、新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)型電子器(qi)(qi)(qi)(qi)件(jian)等(deng)領域(yu)(yu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)相關(guan)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)內(nei)(nei)容(rong)(rong)完全(quan)沒有(you)或涉及(ji)(ji)較少。某些高(gao)(gao)校(xiao)還(huan)利(li)(li)用虛擬實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)來進行實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)教(jiao)學(xue)(xue)(xue)(xue)，其實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)效果遠(yuan)不(bu)(bu)(bu)如(ru)學(xue)(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)際(ji)動(dong)手操(cao)(cao)作。我(wo)校(xiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)物(wu)理(li)(li)(li)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)原有(you)教(jiao)學(xue)(xue)(xue)(xue)內(nei)(nei)容(rong)(rong)主(zhu)要參照上(shang)個(ge)世(shi)紀七、八十年代(dai)(dai)(dai)(dai)國家對(dui)半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)產業(ye)(ye)(ye)人(ren)才培(pei)養(yang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)要求所設(she)(she)置，受(shou)技(ji)術(shu)(shu)(shu)、條件(jian)所限，主(zhu)要以(yi)傳統半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)物(wu)理(li)(li)(li)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)基(ji)礎類實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)為(wei)(wei)主(zhu)，實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)內(nei)(nei)容(rong)(rong)陳(chen)舊。但是(shi)在(zai)(zai)(zai)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)內(nei)(nei)容(rong)(rong)中(zhong)添加新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)能(neng)(neng)源、新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)型電子器(qi)(qi)(qi)(qi)件(jian)等(deng)領域(yu)(yu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)技(ji)術(shu)(shu)(shu)方法，對(dui)于(yu)增加學(xue)(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)對(dui)所學(xue)(xue)(xue)(xue)領域(yu)(yu)內(nei)(nei)最新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)前沿技(ji)術(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)了解，掌握(wo)現(xian)(xian)代(dai)(dai)(dai)(dai)技(ji)術(shu)(shu)(shu)中(zhong)半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)材料(liao)(liao)特性(xing)(xing)(xing)相關(guan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)手段和(he)測試(shi)(shi)技(ji)術(shu)(shu)(shu)是(shi)極為(wei)(wei)重(zhong)要的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)。1．2儀(yi)器(qi)(qi)(qi)(qi)設(she)(she)備(bei)(bei)(bei)嚴重(zhong)匱乏。半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)物(wu)理(li)(li)(li)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)教(jiao)學(xue)(xue)(xue)(xue)目標是(shi)使(shi)(shi)學(xue)(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)熟練掌握(wo)半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)材料(liao)(liao)和(he)器(qi)(qi)(qi)(qi)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)制備(bei)(bei)(bei)、基(ji)本(ben)物(wu)理(li)(li)(li)參數以(yi)及(ji)(ji)物(wu)理(li)(li)(li)性(xing)(xing)(xing)質(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)測試(shi)(shi)原理(li)(li)(li)和(he)表征方法，為(wei)(wei)半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)材料(liao)(liao)與(yu)器(qi)(qi)(qi)(qi)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)開(kai)發(fa)(fa)設(she)(she)計(ji)與(yu)研制奠定基(ji)礎。隨著(zhu)(zhu)科學(xue)(xue)(xue)(xue)技(ji)術(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)不(bu)(bu)(bu)斷(duan)發(fa)(fa)展(zhan)，專(zhuan)業(ye)(ye)(ye)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)教(jiao)學(xue)(xue)(xue)(xue)內(nei)(nei)容(rong)(rong)應(ying)隨著(zhu)(zhu)專(zhuan)業(ye)(ye)(ye)知識的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)更(geng)新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)及(ji)(ji)行業(ye)(ye)(ye)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)發(fa)(fa)展(zhan)及(ji)(ji)時(shi)調(diao)(diao)整(zheng)，從而能(neng)(neng)更(geng)好(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)完成課程教(jiao)學(xue)(xue)(xue)(xue)目標的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)要求，培(pei)養(yang)新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)時(shi)代(dai)(dai)(dai)(dai)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)人(ren)才。實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)內(nei)(nei)容(rong)(rong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)調(diao)(diao)整(zheng)和(he)更(geng)新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)需要有(you)新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)型的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)儀(yi)器(qi)(qi)(qi)(qi)設(she)(she)備(bei)(bei)(bei)做保障，但我(wo)校(xiao)原有(you)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)教(jiao)學(xue)(xue)(xue)(xue)儀(yi)器(qi)(qi)(qi)(qi)設(she)(she)備(bei)(bei)(bei)絕大部分生(sheng)(sheng)(sheng)產于(yu)上(shang)個(ge)世(shi)紀六七十年代(dai)(dai)(dai)(dai)，在(zai)(zai)(zai)長(chang)期實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)教(jiao)學(xue)(xue)(xue)(xue)過程中(zhong)，不(bu)(bu)(bu)少儀(yi)器(qi)(qi)(qi)(qi)因無法修復的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)故(gu)障而處(chu)于(yu)待報廢(fei)狀態。由(you)于(yu)儀(yi)器(qi)(qi)(qi)(qi)設(she)(she)備(bei)(bei)(bei)不(bu)(bu)(bu)能(neng)(neng)及(ji)(ji)時(shi)更(geng)新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)，致使(shi)(shi)個(ge)別(bie)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)內(nei)(nei)容(rong)(rong)無法正常(chang)進行，可運行的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)儀(yi)器(qi)(qi)(qi)(qi)設(she)(she)備(bei)(bei)(bei)也因為(wei)(wei)年代(dai)(dai)(dai)(dai)久(jiu)遠(yuan)，實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)誤差大、重(zhong)復性(xing)(xing)(xing)低，有(you)時(shi)甚(shen)至會得到(dao)錯誤的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)結果，只能(neng)(neng)作學(xue)(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)“按部就班(ban)”的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)基(ji)礎實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)，難以(yi)進行實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)內(nei)(nei)容(rong)(rong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)調(diao)(diao)整(zheng)，將新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)技(ji)術(shu)(shu)(shu)新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)方法應(ying)用于(yu)教(jiao)學(xue)(xue)(xue)(xue)中(zhong)。因此，在(zai)(zai)(zai)改(gai)革之(zhi)前半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)物(wu)理(li)(li)(li)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)設(she)(she)計(ji)以(yi)基(ji)礎類實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)為(wei)(wei)主(zhu)，設(she)(she)計(ji)性(xing)(xing)(xing)、應(ying)用性(xing)(xing)(xing)、綜(zong)合性(xing)(xing)(xing)等(deng)提高(gao)(gao)類實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)較少，且(qie)無法開(kai)展(zhan)創(chuang)新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)類實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)。缺(que)少自主(zhu)設(she)(she)計(ji)、創(chuang)新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)、協(xie)作等(deng)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)踐能(neng)(neng)力(li)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)訓練，不(bu)(bu)(bu)僅極大地降低學(xue)(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)對(dui)專(zhuan)業(ye)(ye)(ye)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)興趣，且(qie)不(bu)(bu)(bu)利(li)(li)于(yu)學(xue)(xue)(xue)(xue)生(sheng)(sheng)(sheng)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)踐和(he)創(chuang)新(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)創(chuang)業(ye)(ye)(ye)能(neng)(neng)力(li)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)培(pei)養(yang)，半(ban)(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)物(wu)理(li)(li)(li)實(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)課程的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)改(gai)革勢在(zai)(zai)(zai)必行。

2半(ban)導體物(wu)理實驗課程改(gai)革的(de)內(nei)容與舉(ju)措

摘要(yao)：隨著科技(ji)(ji)不(bu)斷發展和人(ren)們生活(huo)需求不(bu)斷提高，在(zai)日常生活(huo)中，微(wei)電(dian)(dian)子(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)已(yi)經(jing)應用的(de)(de)比較廣泛了，然而只有不(bu)斷利用、研究、開發和探(tan)索，把微(wei)電(dian)(dian)子(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)投入到更多(duo)人(ren)們生活(huo)的(de)(de)領域(yu)中，為生活(huo)提供(gong)更多(duo)的(de)(de)方(fang)便。現(xian)在(zai)通過對微(wei)電(dian)(dian)子(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)一些探(tan)討的(de)(de)同時，也對未來生活(huo)中更多(duo)方(fang)面(mian)使用微(wei)電(dian)(dian)子(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)美好憧(chong)憬和展望。

關鍵(jian)詞：微(wei)電子(zi)；技(ji)術；趨勢

一、前言

如今國家(jia)在科研方面取(qu)得(de)較大進步，都(dou)來(lai)源于(yu)科學技術(shu)不(bu)斷的創新，微電(dian)(dian)(dian)子(zi)技術(shu)就是(shi)如此，在生活中(zhong)(zhong)隨處可見(jian)，小(xiao)到(dao)一(yi)個(ge)簡單(dan)的玩具(ju)跑(pao)車，大到(dao)國家(jia)核心裝(zhuang)備，這些(xie)都(dou)離不(bu)開(kai)微電(dian)(dian)(dian)子(zi)技術(shu)。作為一(yi)名高中(zhong)(zhong)生，微電(dian)(dian)(dian)子(zi)技術(shu)已(yi)經逐漸踏入高中(zhong)(zhong)校園，在物(wu)理(li)課實驗中(zhong)(zhong)通過老師(shi)介紹了(le)集成電(dian)(dian)(dian)路等，我(wo)們(men)或(huo)多或(huo)少的對微電(dian)(dian)(dian)子(zi)技術(shu)有了(le)些(xie)許了(le)解。微電(dian)(dian)(dian)子(zi)技術(shu)從核心意義上來(lai)說具(ju)有體(ti)積小(xiao)，把較為繁瑣(suo)的任務簡單(dan)處理(li)，由于(yu)體(ti)積小(xiao)的這一(yi)特征，使得(de)微電(dian)(dian)(dian)子(zi)技術(shu)能(neng)夠(gou)在科學發展中(zhong)(zhong)占有重要地位。

二、微電子技(ji)術的發展(zhan)

微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)我(wo)們(men)生(sheng)活中(zhong)(zhong)能夠占領如此重要地(di)位，是因為微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)每個(ge)人(ren)(ren)不斷努力下，逐(zhu)漸對(dui)(dui)這項技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)不斷完善，在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)完善中(zhong)(zhong)逐(zhu)漸成(cheng)(cheng)熟，所(suo)以(yi)才能夠投(tou)入(ru)到生(sheng)活中(zhong)(zhong)為方便(bian)生(sheng)活所(suo)用。（1）微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)興起。早在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)1957年(nian)(nian)(nian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)時候(hou)，我(wo)國就(jiu)開始對(dui)(dui)微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)付出(chu)努力，成(cheng)(cheng)立(li)了(le)(le)(le)專(zhuan)門機(ji)(ji)構和(he)選(xuan)拔出(chu)了(le)(le)(le)大(da)量的(de)(de)(de)(de)(de)(de)科(ke)研人(ren)(ren)才投(tou)入(ru)到這項技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)開發(fa)，隨后隨著技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)不斷的(de)(de)(de)(de)(de)(de)更新，半(ban)(ban)導體晶體管、無線電(dian)(dian)(dian)(dian)和(he)集(ji)(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)(dian)(dian)路等相繼被(bei)研發(fa)利用。但是對(dui)(dui)比(bi)與80年(nian)(nian)(nian)代(dai)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)美國等發(fa)達(da)國家(jia)(jia)而(er)言，在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)這些(xie)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)比(bi)較還是相差甚遠。但也是這時候(hou)，國家(jia)(jia)對(dui)(dui)這項技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)投(tou)入(ru)也加大(da)了(le)(le)(le)許多(duo)，包(bao)括經(jing)濟和(he)人(ren)(ren)才的(de)(de)(de)(de)(de)(de)投(tou)入(ru)，知(zhi)道(dao)近些(xie)年(nian)(nian)(nian)來(lai)，國家(jia)(jia)把微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)視為國家(jia)(jia)科(ke)技(ji)(ji)發(fa)展的(de)(de)(de)(de)(de)(de)重要核心之(zhi)一(yi)。（2）微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)現狀(zhuang)。從微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)被(bei)發(fa)明到現在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)，它已經(jing)憑借著速度(du)快、質量輕、工(gong)作效(xiao)率(lv)(lv)高的(de)(de)(de)(de)(de)(de)多(duo)種特(te)點，在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)各(ge)種科(ke)技(ji)(ji)產品(pin)中(zhong)(zhong)得(de)到重用，它是一(yi)款結合(he)集(ji)(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)(dian)(dian)路和(he)半(ban)(ban)導體材料高水平電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)，最近幾年(nian)(nian)(nian)來(lai)，我(wo)國在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)行(xing)業(ye)(ye)取(qu)得(de)很(hen)大(da)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)進步(bu)，把提升國民經(jing)濟和(he)微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)相結合(he)起來(lai)，在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)器件行(xing)業(ye)(ye)，著重關注(zhu)于(yu)(yu)微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)成(cheng)(cheng)熟和(he)創(chuang)新，把微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)投(tou)入(ru)到生(sheng)活中(zhong)(zhong)多(duo)方面的(de)(de)(de)(de)(de)(de)使用，例(li)如在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)計算(suan)機(ji)(ji)上(shang)，微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)取(qu)得(de)了(le)(le)(le)跟進一(yi)步(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)發(fa)展，甚至到現在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)幾乎人(ren)(ren)人(ren)(ren)必備的(de)(de)(de)(de)(de)(de)手(shou)(shou)機(ji)(ji)上(shang)，微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)也得(de)到重用，它的(de)(de)(de)(de)(de)(de)特(te)點極大(da)程度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)改變了(le)(le)(le)手(shou)(shou)機(ji)(ji)便(bian)攜式的(de)(de)(de)(de)(de)(de)特(te)征。對(dui)(dui)于(yu)(yu)微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)這些(xie)重大(da)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)改變以(yi)及使用，從最大(da)程度(du)上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)方便(bian)了(le)(le)(le)人(ren)(ren)民的(de)(de)(de)(de)(de)(de)生(sheng)活，加快了(le)(le)(le)國家(jia)(jia)經(jing)濟的(de)(de)(de)(de)(de)(de)發(fa)展，促(cu)進科(ke)學領域技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)創(chuang)新。（3）微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)發(fa)展趨勢。在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)當今(jin)科(ke)學技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)發(fa)展迅猛的(de)(de)(de)(de)(de)(de)時代(dai)，微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)科(ke)技(ji)(ji)產品(pin)遍布(bu)全球的(de)(de)(de)(de)(de)(de)每個(ge)角落，人(ren)(ren)們(men)都(dou)在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)繁忙的(de)(de)(de)(de)(de)(de)社(she)會中(zhong)(zhong)享受到了(le)(le)(le)極大(da)地(di)便(bian)捷。微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)半(ban)(ban)導體晶體管在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)各(ge)個(ge)行(xing)業(ye)(ye)得(de)到推行(xing)和(he)提倡，例(li)如：教育行(xing)業(ye)(ye)、醫(yi)療行(xing)業(ye)(ye)、軍事行(xing)業(ye)(ye)機(ji)(ji)械行(xing)業(ye)(ye)等多(duo)方面。微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)都(dou)極大(da)程度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)改變這些(xie)行(xing)業(ye)(ye)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)管理，例(li)如微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)提高了(le)(le)(le)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)芯片的(de)(de)(de)(de)(de)(de)儲存效(xiao)率(lv)(lv)，在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)需要多(duo)個(ge)人(ren)(ren)管理的(de)(de)(de)(de)(de)(de)實物對(dui)(dui)于(yu)(yu)現在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)水平而(er)言，一(yi)個(ge)人(ren)(ren)已經(jing)可以(yi)勝任，所(suo)以(yi)微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)不僅便(bian)捷了(le)(le)(le)人(ren)(ren)們(men)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)生(sheng)活，還沖(chong)某(mou)種程度(du)上(shang)改革了(le)(le)(le)企業(ye)(ye)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)管理制度(du)。微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)在(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)(zai)汽(qi)車的(de)(de)(de)(de)(de)(de)引擎(qing)系統也取(qu)得(de)巨大(da)成(cheng)(cheng)就(jiu)，如今(jin)大(da)多(duo)半(ban)(ban)汽(qi)車的(de)(de)(de)(de)(de)(de)防盜系統都(dou)有微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)涉獵。再比(bi)如最常見的(de)(de)(de)(de)(de)(de)超(chao)市中(zhong)(zhong)收(shou)銀(yin)臺的(de)(de)(de)(de)(de)(de)掃碼器也注(zhu)入(ru)了(le)(le)(le)微(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)產品(pin)，比(bi)起以(yi)前計算(suan)器效(xiao)率(lv)(lv)高出(chu)幾十倍(bei)上(shang)百倍(bei)。